ナノ・マイクロものづくりサポート
世界各地の研究者や企業をクライアントとするNTT-ATの微細加工サービスは、その技術力だけでなく、お客様ご要望に合わせた特注のオーダーメイド製品をご提供できる柔軟性が最大の特長です。つまり、「大手メーカーの製品には今回の仕様が合うものがない」とお悩みの場合にこそ、NTT-ATにご相談ください。
薄膜形成・加工サービス
薄膜形成およびフォトリソグラフィの簡単なパターニングサービス
加圧オーブン
先端的微細構造形成に必要な半導体プロセス装置 樹脂膜厚等の気泡除去に効果発揮
表面分析サービス
微小領域のシート抵抗測定などの表面分析サービス
半導体プロセスサービス
半導体プロセスの研究開発を総合的に支援
ナノ加工サービス・微細加工サービス
EB描画（電子線描画）等の微細加工サービス
ナノインプリント用モールド ＜カタログ製品＞
ナノ領域のライン＆スペース、ドット、ホールパタンを提供
ナノインプリント用モールド
SiC/石英/SiO2/Si/Ta各種材料のナノインプリント用極微細モールド
定比LiTaO3
マイクロドメイン制御、その他応用に適した光学結晶子
Tektronix社 オシロスコープ、信号発生器、アナライザ、他
信号を取り込み、表示し、解析するための優れた性能を持つ、最先端、業界トップクラスの計測器
円錐状ナノパタンアレイ（モスアイ）
シリコン金型原版、Ni電鋳金型などのパタン
メンブレンMEMS
極薄膜上に熱/振動/光/荷電粒子等の高感度センサを作製
深さ方向分析用標準試料
一定間隔で一定厚みの異種物質層が積層された多層膜標準試料
微細ビーム幅計測用スケール
ビームサイズ測定用ナノスケール/ナノビーム形成素子
波長可変光フィルタモジュール
広波長範囲/低PDLが特長で特注光フィルタも製造/タンデム実装も可能
軟X線ビームスプリッタ
透過型および反射型の軟X線ビームスプリッタ
ナノAuパタン
Au電極とSiO2の境界段差を10nm以下に制御した電極パタンを作製
定比LiNbO3
ホログラムメモリなど各種用途、その他応用に適した光学結晶子
測長用スケール
走査プローブ顕微鏡等の長さや角度の較正に最適なスケール
自動追尾型偏波コントローラ
ファイバへの外的要因（応力、熱）による位相差の変化を直線偏波で出力
光学部品・光学素子
ナノオーダーの高精度な光学部品を製作
光学特性評価サービス
光学特性の測定、実用化のための総合評価サービス
極端紫外線フィルタ
透過率、耐久性、平坦性に優れた酸化防止膜付き自立型フィルタ
カートリッジ型光学部品シリーズ
面倒な光軸調整をせずに偏波状態、減衰量、波長等の光の特性を手軽に変えられるツール
可変光アッテネータモジュール
低挿入損失/低PDLのシャッター機能付モジュール
化学分析サービス
各種の無機化学/有機化学分析
位置決め装置 高分解能フィードバックシステム 大気用
フィードバック回路を搭載した高分解能フィードバックステージシステム
X線および電子線リソグラフィ用マスク
X線マスク、電子ビーム用マスクなどの開発・提供
V溝回折格子・ブレーズ回析格子
シリコンをV溝パタンにエッチング加工
Smart SPR
現場ですぐに10ngオーダーのタンパク質が検出できるマルチセンシングSPR測定装置
GdVO4・YVO4（無添加、Nd, Yb, Ho等添加）
各種小型・高効率マイクロチップ固体レーザー用に応用可能
CZ-BBO
高い再現性、光損傷閾値、収集率を持つ高純度BaB2O4単結晶
CLBO
UV波長範囲において優れた高調波発生結晶
AFM（原子間力顕微鏡）高さ校正用標準試料
原子間力顕微鏡のÅオーダでの高さ方向の校正などが可能
