ナノ・マイクロものづくりサポート

ナノ・マイクロものづくりサポート

世界各地の研究者や企業をクライアントとするNTT-ATの微細加工サービスは、その技術力だけでなく、お客様ご要望に合わせた特注のオーダーメイド製品をご提供できる柔軟性が最大の特長です。つまり、「大手メーカーの製品には今回の仕様が合うものがない」とお悩みの場合にこそ、NTT-ATにご相談ください。


Tektronix社 オシロスコープ、信号発生器、アナライザ、他

信号を取り込み、表示し、解析するための優れた性能を持つ、最先端、業界トップクラスの計測器

円錐状ナノパタンアレイ(モスアイ)

シリコン金型原版、Ni電鋳金型などのパタン

メンブレンMEMS

極薄膜上に熱/振動/光/荷電粒子等の高感度センサを作製

深さ方向分析用標準試料

一定間隔で一定厚みの異種物質層が積層された多層膜標準試料

微細ビーム幅計測用スケール

ビームサイズ測定用ナノスケール/ナノビーム形成素子

波長可変光フィルタモジュール

広波長範囲/低PDLが特長で特注光フィルタも製造/タンデム実装も可能

軟X線ビームスプリッタ

透過型および反射型の軟X線ビームスプリッタ

ナノAuパタン

Au電極とSiO2の境界段差を10nm以下に制御した電極パタンを作製

定比LiNbO3

ホログラムメモリなど各種用途、その他応用に適した光学結晶子

測長用スケール

走査プローブ顕微鏡等の長さや角度の較正に最適なスケール

自動追尾型偏波コントローラ

ファイバへの外的要因(応力、熱)による位相差の変化を直線偏波で出力

構造分析サービス

結晶構造解析や薄膜の構造評価

光学部品・光学素子

ナノオーダーの高精度な光学部品を製作

光学特性評価サービス

光学特性の測定、実用化のための総合評価サービス

極端紫外線フィルタ

透過率、耐久性、平坦性に優れた酸化防止膜付き自立型フィルタ

カートリッジ型光学部品シリーズ

面倒な光軸調整をせずに偏波状態、減衰量、波長等の光の特性を手軽に変えられるツール

可変光アッテネータモジュール

低挿入損失/低PDLのシャッター機能付モジュール

化学分析サービス

各種の無機化学/有機化学分析

位置決め装置 高分解能フィードバックシステム 大気用

フィードバック回路を搭載した高分解能フィードバックステージシステム

亜鉛めっき品に対する紛体焼付け技術

亜鉛めっき表面への高防食性・粉体焼付け技術

X線および電子線リソグラフィ用マスク

X線マスク、電子ビーム用マスクなどの開発・提供

V溝回折格子・ブレーズ回析格子

シリコンをV溝パタンにエッチング加工

Smart SPR

現場ですぐに10ngオーダーのタンパク質が検出できるマルチセンシングSPR測定装置

GdVO4・YVO4(無添加、Nd, Yb, Ho等添加)

各種小型・高効率マイクロチップ固体レーザー用に応用可能

CZ-BBO

高い再現性、光損傷閾値、収集率を持つ高純度BaB2O4単結晶

CLBO

UV波長範囲において優れた高調波発生結晶

AFM(原子間力顕微鏡)高さ校正用標準試料

原子間力顕微鏡のÅオーダでの高さ方向の校正などが可能

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