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第20回マイクロマシン/MEMS展

ブース:F-10

第20回マイクロマシン/MEMS展

来る2009年7月29日(水)~ 7月31日(金)に東京ビッグサイト(東京・有明)にて開催される、「第20回マイクロマシン/MEMS展」に、NTT-ATナノファブリケーション(株)と共に出展いたします。
当社では、下記の『全自動加圧オーブン』『 加圧/減圧対応卓上型クリーンオーブン』『転写成膜装置』や『MEMSプロセスサービス』を出展いたします。
是非、当社ブースに足をお運びいただき、各商品をご覧ください。

開催概要

開催期間 2009年7月29日(水)~ 7月31日(金)
開場時間 10:00~17:00
開催地 東京ビッグサイト 東ホール(東京・有明)
主催
(財)マイクロマシンセンター(MMC)
公式サイト http://www.micromachine.jp/
入場料
1,000円(消費税込)※但し、出展者・業界関係者にはご招待状を無料配布します。
また、事前登録で無料になります。

出展概要

出展品目
全自動加圧オーブン
  • 窒素もしくは空気により、加圧した状態でサンプルを熱処理できます。
  • 加圧/減圧対応卓上型クリーンオーブン
  • さまざまな圧力下での加熱処理が行えます。ポリイミド等の樹脂膜の熱処理に最適です。
  • 転写成膜装置
  • MEMS素子上に封止膜、平坦化膜を形成する装置です。フィルムコンディショナー、転写フィルムも併せて提供します。
  • MEMSプロセスサービス
  • MEMS素子を中心に各種Siパターン形成プロセスを実施しています。

  • このイベントへのお問い合わせ先

    TEL( フリーダイヤル) : 0120-057-601

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